激光精细微加工设备是利用激光对各种材料进行异形切割,钻孔,刻蚀等多种形式的加工处理平台。 产品优势:设备应用宽泛,平台兼容性高;加工工艺众多,应对多种精密加工要求;设备可升级空间大,扩展性强。 应用领域:应用于大多数材料(硅、蓝宝石、碳化硅、石英硼硅、氧化铝陶瓷、不锈钢等)的精密加工,如切割、钻孔、刻蚀、表面处理、开槽等。;
目前该设备主要针对科研军工非标准化应用,根据客户需求做定制化需求,解决客户小批量多批次,多种类的加工需求。应用在微电子,生物医疗,半导体等应用。如:清华精仪系,北大微电子所,微电子所,航天13所,航天203所,电科14所等;