服务商:厦门普诚半导体科技有限公司
类 型:设备
类 别:
其他自动化装备-其他
来 源:自主研发
技术水平:国际先进
知识产权:
1、接收客户生产线自动天车传送的晶圆存储盒,收纳入晶圆存储盒仓储系统。 2、接收客户生产线人工传送的晶圆存储盒收纳入晶圆存储盒仓储系统。 3、仓储智能系统自动分配最佳仓储位置。 4、经由信息交互系统同时接受多笔命令, 仓储系统自动判断最佳路径,实现快速出入库功能。 5、具备自动盘点晶圆存储盒功能;
属于新产品,可以运用于半导体晶圆厂储存晶圆;