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高功率MPCVD装备

行业:环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造

类型:外观专利

成熟度:正在研发

交易方式:完全转让

应用领域:新材料

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技术内容

成果简介 金刚石以其优异的综合性能被广泛应用于众多领域。今年来,受金刚石半导体和人工培育钻石的研究热潮,其高功率装备研制再次成为研究热点。本成果围绕高功率、可调谐MPCVD装备研制开展工作,可实现装备自主设计及产业化。 核心技术 1、高功率、可调谐MPCVD装置模拟技术:2、基于多物理场耦合等离子体模拟技术, 创新点 1、高功率、可调谐MPCVD装置模拟技术:2、基于多物理场耦合等离子体模拟技术。