成果简介 金刚石以其优异的综合性能被广泛应用于众多领域。今年来,受金刚石半导体和人工培育钻石的研究热潮,其高功率装备研制再次成为研究热点。本成果围绕高功率、可调谐MPCVD装备研制开展工作,可实现装备自主设计及产业化。 核心技术 1、高功率、可调谐MPCVD装置模拟技术:2、基于多物理场耦合等离子体模拟技术, 创新点 1、高功率、可调谐MPCVD装置模拟技术:2、基于多物理场耦合等离子体模拟技术。
类型:发明
应用领域:环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
成熟度:通过小试
交易方式:完全转让
类型:实用新型
应用领域:环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
成熟度:通过小试
交易方式:完全转让
类型:外观专利
应用领域:环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
成熟度:正在研发
交易方式:完全转让
类型:外观专利
应用领域:环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
成熟度:正在研发
交易方式:完全转让
类型:实用新型,实用新型
应用领域:环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
成熟度:通过小试
交易方式:完全转让,许可转让,技术入股,资料待完善,资料待完善
类型:发明
应用领域:环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造
成熟度:正在研发
交易方式:完全转让