详细介绍
FOUP自动化设备:用于FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护FOUP、晶圆安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率。;
运营案例
广东东电化广晟稀土高新材料有限公司;
FOUP自动化设备:用于FOUP自动化搬送、存储，实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护FOUP、晶圆安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；全新的系统运动逻辑规划，提高产品搬送效率。;
广东东电化广晟稀土高新材料有限公司;
