详细介绍
本设备基于双旋转补偿器调制技术一次性获取退偏指数、Psi/Delta、N/C/S等光谱。适用于大尺寸晶圆片单层或多层薄膜的膜厚及光学常数的自动Mapping绘制测量。;
运营案例
三安集成、中芯国际、舜宇光学、长江存储、华星光电;
本设备基于双旋转补偿器调制技术一次性获取退偏指数、Psi/Delta、N/C/S等光谱。适用于大尺寸晶圆片单层或多层薄膜的膜厚及光学常数的自动Mapping绘制测量。;
三安集成、中芯国际、舜宇光学、长江存储、华星光电;
