服务商:厦门捷希自动化科技有限公司
类 型:设备
类 别:
其他自动化装备-其他
来 源:自主研发
技术水平:国内领先
知识产权:发明专利,实用新型专利,其他
产品介绍: 本设备为DBR蒸镀前段组立设备,应用于研磨后晶圆片在DBR制程镀环孔里的自动取放片,适用于DBR站。 主要特点 1. 采用 Wafer 搬运机器人; 2. 非接触式 Pre Aligner; 3.悬浮式非接触真空吸盘; 4.Wafer ID Reader(可选); 5.自动镭刻码读取,可片源追溯; 6.镀环放片自动侦测学习。;
DBR镀环自动上下料设备;