详细介绍
产品介绍： 本设备为DBR蒸镀前段组立设备，应用于研磨后晶圆片在DBR制程镀环孔里的自动取放片，适用于DBR站。 主要特点 1. 采用 Wafer 搬运机器人； 2. 非接触式 Pre Aligner； 3.悬浮式非接触真空吸盘； 4.Wafer ID Reader（可选）； 5.自动镭刻码读取，可片源追溯； 6.镀环放片自动侦测学习。;
运营案例
DBR镀环自动上下料设备;
产品介绍： 本设备为DBR蒸镀前段组立设备，应用于研磨后晶圆片在DBR制程镀环孔里的自动取放片，适用于DBR站。 主要特点 1. 采用 Wafer 搬运机器人； 2. 非接触式 Pre Aligner； 3.悬浮式非接触真空吸盘； 4.Wafer ID Reader（可选）； 5.自动镭刻码读取，可片源追溯； 6.镀环放片自动侦测学习。;
DBR镀环自动上下料设备;
