服务商:松下电器机电(中国)有限公司
类 型:设备
类 别:
其他自动化装备-其他
来 源:自主研发
技术水平:国际领先
知识产权:
松下溅射机通过专有的等离子控制系统,可实现Au、Ti、Cr多种金属多层溅射及SiO2、SiN和ITO等材料的高精度溅射成膜。 松下溅射机优势介绍: 1. 设备溅射机成膜高密度、高结晶,薄膜厚度和折射率均匀性好。 2. 可多层金属溅射高效、稳定,极大的减少了客户由于设备工艺不稳定造成的质量影响。 ;
芯透微、CETC等;