服务商：武汉颐光科技有限公司
类 型：设备
类 别：
其他自动化装备-其他
来 源：自主研发
技术水平：国际先进
知识产权：发明专利,实用新型专利,软件著作权,国际专利
百纳米-百微米级薄膜厚度的量测;
国家电网、北京智慧能源研究院、深圳奥比中光集团、甬江实验室;
